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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心水浴/油浴防爆烘箱PI固化爐
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水浴/油浴防爆烘箱
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PI固化爐適用于晶圓、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化;晶圓退火。光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅膜、PI固化
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